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■特徴 |
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・ユーザーによる通信プログラム作成は不要です。必要なパラメータ設定のみ
でOKです。
・既設システムにも接続が容易です。
・メタデータ定義 (パラメータリスト/イベント収集/トレース収集)パラメータ
値の変化をトリガとしたイベントを定義可能です。
・過去半年のデータ保存が可能。過去にさかのぼってデータ確認ができます。
・装置1台に対して、1パッケージです。
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■機能 |
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・指定されたSVID及びAIO・DIOのリアルタイム表示。
・S1F3でのサンプリング収集(標準)だけでなく、A/Dコンバータ接続による
デバイス直接収集が可能(ｵﾌﾟｼｮﾝ)
・リミットを越えた場合の挙動の選択。(ｵﾌﾟｼｮﾝ)
・FTP経由にて、CSVデータを送信が可能。(ｵﾌﾟｼｮﾝ)
※解析は、基本的にお客様サイドでお願いします。
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■導入メリット |
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・エンジニアリング効率の向上。
・スクラップ低減。
・歩留向上。
・装置稼働率向上
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■リアルタイム表示画面 |
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チャート表示、バーチャート表示、生ﾃﾞｰﾀ表示、DIチャート表示、リミットなどをいっぺんに表示できます。 |
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■チャート表示画面 |
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選択した項目を重ねて折れ線グラフ表示できます。
項目のデータを計算しウェハ情報と共にﾃﾞｰﾀの最大、最小、平均値、標準偏差及びレンジを表示できます。 |
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